I vakuumbeläggningsutrustningen fungerar kavitetens inre komponenter i beläggningen under en viss tid, det ackumulerade filmskiktet på ytan blir tjockare och tjockare, spänningen i själva filmskiktet blir större, och samtidigt finns det är ett problem med vidhäftning mellan filmskikten som avsätts vid olika tidpunkter, vilket kommer att leda till att komponentens ytfilmskikt lätt faller av, i beläggningsprocessen kommer att producera mycket föroreningar på provytan, vilket i hög grad påverkar beläggningsutbytet . Därför måste de inre komponenterna i kaviteten rengöras regelbundet. Rengöring av beläggningsutrustningen har en mycket positiv effekt på effektiviteten och kvaliteten hos vakuumbeläggningsmaskinen och kan avsevärt förbättra stabiliteten hos alla väggar och andra komponentytor i vakuumsystemet under olika driftsförhållanden.
De inre komponenterna i beläggningsutrustningen som ska rengöras inkluderar kammarens innervägg, jonkällans galler, det roterande stödet och värmetråden.
Traditionell rengöringsmetod och nackdelar
1. Sandblästringbehandling. Eftersom den dielektriska oxidfilmen är en vakuumelektronstråle vid hög temperatur ångavsättning, är filmskiktets hårdhet hög, den vanliga poleringsmetoden för sandpapper är inte bara tidskrävande och arbetsintensiv, utan även rengöringseffekten är inte bra. Om endast sandblästring används, eftersom aluminiumlegeringens ythårdhet inte är hög, kommer sandkorn att bäddas in i provytan under sandblästringsprocessen och kan inte avlägsnas rent, och dessa korn kommer att falla av under beläggningsprocessen på grund av den höga -hastighetsrotation av komponenterna, vilket kommer att påverka beläggningens utbytehastighet.
2. Elektrokemisk rengöring och elektropolering och ultraljudsrengöringsmetoder. Behovet av att ta isär beläggningsmaskinens delar, förbrukar inte bara mycket tid och energi, utan demonteringsprocessen har också oundvikliga föroreningar och kräver förbrukning av vissa rengöringsmaterial, särskilt vid rengöring av stora föremål, och dess besvär.
3. Manuell handhållen laserrengöring. Genom det handhållna laserrengöringshuvudet till varje hörn av beläggningsmaskinen manuell rengöring, men användningen av denna rengöringsmetod under lång tid kommer inte bara att låta operatören andas in laserrengöringen från föroreningarna och rengöra stora föremål, handhållen fokus kan inte vara stabil, vilket påverkar rengöringseffekten och effektiviteten och arbetsintensiteten.
Därför har utvecklingen av en rimlig rengöringsmetod, särskilt för icke-borttagbar beläggningsmaskins inre kroppsyta, funktionella strukturdelar ytrengöring, hur man minskar arbetsintensiteten, rengöring bekvämare och förbättrar rengöringens kvalitet och effektivitet, har varit den korta brädets smärtpunkt för beläggningsmaskinens dagliga underhåll.
Beläggningsutrustning Laser Cleaner Översikt
Våglängdsrengöringsmaskinen för optoelektronisk beläggningsutrustning är speciellt utvecklad för rengöringsarbetet inuti beläggningsmaskinen, med hjälp av laser för att rengöra insidan av beläggningsmaskinen och dess komponenter. Systemet inkluderar ett beläggningsrengöringshuvud, systemfäste, robotfäste, samarbetsrobot, robotbas, 3D-kamera, pulsad fiberlaser, kontrollbox, driftvärd, vattenkylare, fiberfäste, luftkälla och elektrisk balansbil, lämplig för multi-vinklar och allround rengöring inuti bestrykaren, utan att demontera bestrykaren, effektivt övervinna de befintliga metoderna med låg effektivitet, föroreningar, olämpliga för stora volymer rengöring och andra problem. Den övervinner effektivt problemen med låg effektivitet och föroreningar och är olämplig för rengöring av stora volymer.
Fördelar med laserrengöringsmaskin för beläggningsutrustning
1. Speciellt utformat laserrengöringshuvud i beläggningsmaskinen, integrerat gasskydd och rengöring och dammutsug samt fast fokusmekanism. Minska linsunderhållet för att säkerställa stabilt rengöringsarbete.
2. Omfattande utrustningskonfiguration, design av ett speciellt elektriskt styrsystem, samordnad kontrollrobot, automatisk spårning av laseravstånd, laserrengöringshuvud normalt arbete, konfiguration av motsvarande induktionsdetektering och kontroll, för att säkerställa systemets säkert arbete. Ställ in respektive rengöringsväg för olika rengöringsområden och upprätta motsvarande operationsfilbibliotek. Realisera fjärrkontroll av automatisk rengöring.
3. Laseravståndsmätning spårar automatiskt rengöringslaserns arbetsavstånd för att säkerställa konsistensen av rengöringseffekten och förbättra kvaliteten på rengöringen.
4. Konfigurera dammadsorptions- och borttagningsfilter för att säkerställa miljöskydd mot utsläpp. Designa ett hölje för att isolera den dammflygande miljön, för att ytterligare förbättra miljöskyddet och säkerheten.
5. Konfigurera vattenkylaren för att säkerställa en stabil och lång arbetstid för lasern.
6. Konfigurerad med en följ mig-övervakningskamera för att övervaka och kontrollera rengöringskvaliteten och göra motsvarande skärmdumpar för att spara för spårbarheten av rengöringskvalitet.
7. Övergripande lätt design, kompakt struktur, utrustad med elektrisk balansbil, enkel och flexibel rörelse.
"Intelligent rengöring" hjälper till att bygga en smart fabrik
Beläggningsutrustning laserrengöringsmaskinerär beröringsfria, har inga förnödenheter, inga extra föroreningar, hög kontrollnoggrannhet, inga skador eller små skador, etc., automatiska rengöringsoperationer, är effektiva och stabila. Rengöringshuvudets design inser fördelarna med lätt, integrerad blåsskyddsstruktur, dammsugning, borttagning, etc. Samarbetsroboten 6-axlar används för att realisera långtidsautomatisk rengöringsoperation, vilket undviker instabilitet vid manuell handhållen rengöring inuti den stora bestrykaren, medan robotens arbetsområde är styrbart för att garantera personalens säkerhet. Dessutom kan användningen av 3D-visionrobotar för automatisk spårning av rengöringssystemets arbetsfokus styras och kontrolleras för automatisk kollisionsundvikande, medan den specifika initiala positionsjusteringen mellan systemstödet och bestrykaren kan styras och övervakas till arbetsprocess i realtid, vilket förbättrar effektiviteten och noggrannheten i rengöringsmaskinens automatisering. Det hjälper till att bygga en intelligent beläggningsverkstad och förbättra kvalitet och effektivitet.
