Recently, the Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology of the Chinese Academy of Sciences has developed a high-performance MEMS fast-reflecting mirror with integrated angle sensors. The mirror has a large size, a small package volume, excellent performance, and great potential in laser satellite communications.
Den snabbreflekterande spegeln tog nästan fem år att utveckla . Den antar dubbelskikts heterogena integration och bindningsteknik för skiva nivå, och dess volym är bara storleken på en 1- yuan-mynt .
Den övervinner de tekniska flaskhalsarna för traditionella mekaniska snabbreflekterande speglar och original MEMS snabbreflekterande speglar, vilket skapar en rymdklassig produkt med en pekande noggrannhet av μR, möter de ultralättande indikatorerna för satellitburna applikationer .}
Inspirerad av mobiltelefonskärmen använde teamet Silicon piezoresistive stamprincip för att integrera vinkelsensorer på chip, och genom strukturell innovation ökades känsligheten med 63%, vilket optimerade noggrannheten för strålkontroll .}
Testresultaten visar att vinkelnoggrannheten vid en specifik frekvens uppfyller standarden, och den maximala dynamiska ytdeformationen är endast 2 nanometrar .
Tjänstemannen gjorde en analogi, vilket motsvarar alla upp- och nedgångar på en spegel på storleken på en fotbollsplan som inte överskrider diametern på ett hår, och uppfyller de strikta kraven för långdistans satellit laserkommunikation på spegelytan .
