Enligt substratmaterialets egenskaper, substratytans noggrannhet, ytjämnhet och typerna av partikelföroreningar kan de nuvarande laserrengöringsmetoderna delas in i följande två kategorier.
1) Laser kemtvätt metod. Laser bestrålar direkt objektets yta, förorenar partiklarna eller absorberar energi på ytan och får sedan partiklarna att lämna ytan genom termisk diffusion, fotosönderdelning och förgasning.
2) Laser våt rengöringsmetod. Spraya lite okontaminerad vätska (huvudsakligen vatten, ibland alkohol) på ytan av materialet som ska rengöras och bestråla sedan med laser. Efter att ha absorberat laserenergin kommer det flytande mediet att producera explosiv förångning och driva bort föroreningspartiklarna från materialytan. Dessutom har den så kallade rengöringsmetoden för laserföreningar föreslagits. Laserenergin absorberas av substratmaterialet och sedan upphettas det adsorberade mellanmediet genom termisk konvektion och det mellanliggande mediet ger explosiv förångning. Drivs av högt luftflöde separeras partiklarna från substratytan tillsammans med det mellanliggande mediet.
